GB5000微流量气体质量流量计
基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热 量与其质量流量成正比 ”理论发展而来。无气流时, 以Heater为中心的温度场对称分布;有气流时,温度 场分布发生偏移,导致上下游出现温差,通过测量该 温差,即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。

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