一、电化学传感器发展史
1.时间全景图

从19世纪电化学理论的诞生,到20世纪50年代第一款氧气传感器的问世,再到60至70年代有毒气体检测需求的兴起,电化学气体传感器逐步迈上了技术演进的阶梯。80年代实现了小型化与多组分检测,90年代固态电解质成为研究热点,21世纪初则在MEMS化和低功耗方面取得突破。近年来,智能化与阵列化发展进一步推动了传感器的升级。纵观这一历程,电化学气体传感器经历了从实验室原型到工业、民用领域的广泛应用,整体趋势是由理论奠基、单一功能,向着小型化、智能化和多功能化不断演进。
2.关键技术参数进化史

回顾电化学气体传感器的发展历程,从1950年代到2020年代,其性能实现了质的飞跃:器件体积由超过100立方厘米骤降至不足0.1立方厘米;检测下限从百分比浓度(如氧气1% vol)精细至ppb级别(如二氧化硫1 ppb);功耗则由500毫瓦以上锐减到不足50微瓦。与此同时,功能也从单一气体检测拓展为多气体阵列传感。总体而言,该技术正朝着高集成度、超低功耗与超高灵敏度的方向持续突破。
3.五大里程碑技术
①1956年:Bergman与Niedrach为NASA研制航天舱用安培型氧传感器,首次将三电极体系引入气体检测。参比电极的加入使工作电极电位得以精确控制与监测,显著提升了传感器的性能与稳定性,为现代电化学传感器奠定了基本架构。
②1987年:CityTech(后被霍尼韦尔收购)推出多气体平台,首次在单一基板上集成多个气体传感单元(如CO、H2S、O2等)。该设计打破了传统单气体检测的局限,使传感器体积缩小60%。
③1995年:德国Dräger发布全固态聚合物电解质(SPE)技术。省去储液腔后,器件体积骤降60%,形态从“长号电池型”转变为“纽扣型”。同时解决了传统电解液易泄漏并腐蚀电路的问题,传感器寿命由1–2年延长至5年以上。
④ 2006年:美国General Electric与英国Alphasense合作推出基于MEMS微腔的三电极CO传感器。将传统三电极结构(工作电极、参比电极、对电极)集成于硅片微腔内部,体积降至0.2 cm³,平均功耗低于100 μW,仅用纽扣电池即可供电5年以上。
⑤2020年后:深度学习驱动的气体识别算法与电化学气体传感器(EGS)阵列协同工作,可在1 cm³体积内同时输出CO、NO2、SO2、O3,成本重心也将从硬件制造转向算法开发。
4. 电化学工作原理概述
电化学传感器是较为常见的有毒有害气体检测元件。
与其他检测原理的气体传感器(半导体气体传感器、催化燃烧式气体传感器、红外气体传感器等)相比较而言,电化学传感器具有选择性好、灵敏度高、响应时间短、性能稳定、耗电低、线性和重复性较好等优点,在当前的气体快速检测领域被广泛应用。
5. 结构与组成

一般说来,电化学气体传感器包括下面几部分:可以渗过气体但不能渗过液体的扩散式防水透气膜;酸性电解液(一般为硫酸或磷酸)槽;工作电极;对电极;参比电极(三电极设计);有些传感器还包括一个可以滤除干扰组分的滤膜。
结构图关键部件:过滤材料、毛细孔、防水防尘膜、O型圈、疏水薄膜、工作电极、参考电极、对电极、导线、电解液、引脚。
6. 检测机理
扩散进入传感器的气体在工作电极表面发生氧化或还原反应,再对电极发生与之相应的逆反应,在外部电路上形成电流。由于气体进入传感器的速度由栅孔控制,所以产生的电流与传感器外气体浓度成比例,可以直接测量当前毒气含量。
为了让反应能够发生,工作电极的电位必须保持在一个特定的范围内。但气体的浓度增加时,反应电流也增加,于是导致对电极电位改变(极化)。由于两电极是通过一个简单的负荷电阻连接起来的,虽然工作电极的电位也会随着对电极的电位一起变化。如果气体的浓度不断地升高,工作电极的电位最终有可能移出其允许范围。至此传感器输出信号将不再呈线性,因此两电极气体传感器检测的上限浓度受到一定限制。
对电极的极化所受的限制可以用引进第三电极(参考电极)和利用一外部的恒电位工作电路来予以避免。在这样一种装置中,参考电极中无电流流过,因此这两个电极均维持在一恒定的电位。对电极则仍然可以进行极化,但对传感器而言已不产生任何限制作用。因此三电极传感器所能检测浓度范围要比两电极大得多。
7. 示例:一氧化碳(CO)传感器
下面以一氧化碳电化学传感器为例描述一下它的检测机理。
- CO在工作电极上的氧化:CO + H₂O → CO₂ + 2H⁺ + 2e⁻
- 对电极的逆反应(氧气还原):1/2O₂ + 2H⁺ + 2e⁻ → H₂O
- 传感器总反应:2CO + O₂ → 2CO₂
在检测过程中消耗的物质仅仅是CO分子、电能和氧气,这也是非消耗型传感器寿命较长的原因。传感器的寿命同它所测量污染物无关,在检测过程中传感器本身没有任何的消耗。其它气体电化学传感器也同样是这种非消耗型设计,包括:氮气、氢气、硫化氢、二氧化氮、磷化氢和二氧化硫等。
8. 间接测量与消耗型传感器
有些有毒气体(如氨和氰化氢)的测定使用的是间接方法,它通过消耗传感器中的物质,比如金的传感电极,来建立某种测量关系(例如:2HCN + Au → HAu(CN)₂ + H⁺ + e⁻)。
在这种情况下,由于测量会消耗电极材料,这类传感器的寿命同它所暴露的浓度有很大的关系,所以这一类传感器不适用于高浓度环境或者长时间暴露环境。